產品型號
廠商性質
更新時間
瀏覽次數
產品分類
相關文章
品牌 | 日聯科技 | 應用領域 | 綜合 |
---|
2μm閉式管,高解析度
Lead Frame/BGA/IC/LED/IGBT檢測
高速CNC巡航測算
Rework復判
AX8300Si 是一款專為半導體封裝、電子元器件及精密制造領域設計的無損檢測設備,采用微米級聚焦X射線技術,結合高精度機械系統和智能圖像分析軟件,可實現對芯片、焊點、封裝結構等的非破壞性內部檢測。其超高分辨率與自動化功能使其成為半導體質量控制、失效分析和工藝優化的關鍵工具。
1. 微聚焦X射線成像系統
X射線源:封閉式微焦點射線管,焦點尺寸 ≤0.5μm,能量范圍 20-160kV(可調),確保高穿透力與細節解析能力。
探測器:高靈敏度平板探測器(分辨率 3072×3072像素),支持 16bit灰度成像,動態范圍廣,可清晰呈現微米級缺陷。
放大倍率:光學幾何放大最高 5000X,可檢測 0.2μm級缺陷(如晶圓裂紋、微孔洞)。
2. 多模態檢測能力
2D實時成像:高速掃描(幀率≥30fps),適用于產線快速抽檢。
3D-CT斷層掃描:通過多角度投影重建三維模型(體素分辨率 ≤1μm),支持內部結構分層分析。
AI智能分析:內置深度學習算法,自動識別 BGA虛焊、引線斷裂、封裝分層 等典型缺陷,分類準確率 ≥99%。
3. 高精度機械系統
載物臺:高剛性大理石平臺,行程 300×300×200mm(可定制),定位精度 ±1μm,支持自動旋轉(360°連續掃描)。
安全防護:鉛屏蔽艙體(輻射泄漏 <1μSv/h),符合 ISO 9001 & IEC 61223 安全標準。
4. 全自動化選配
機械臂上下料:兼容JEDEC托盤或卷帶包裝,實現無人化檢測。
MES系統對接:支持檢測數據自動上傳至工廠管理系統,生成SPC報告。
半導體微聚焦X射線檢測設備 AX8300Si
軟硬兼備
帶領X射線檢測設備新風潮
應用領域
精密電子制造行業、半導體行業(集成電路)汽車電子行業、航空航天電子行業
檢測項目
錫焊缺陷(缺焊/連錫/氣泡)
Bonding缺陷(金線變形/斷絲/芯片偏移)
SPC過程控制等